Handbook of semiconductor wafer cleaning technology:science,technology,and applications

作者：  (美)Werner Kern主编;陆晓东[等]译

出版社：电子工业出版社,2012

简介：　　半导体制造工艺是实现由材料到分立器件或集成系统的关键，其中清洗工艺是使用最普遍的工艺步骤。本书详细介绍了与分立半导体器件及超大规模集成电路芯片制造相关的各种晶片清洗技术，着重讲解了这些清洗技术的发展过程、基本原理和实际应用问题。全书共分为五部分十三章：第一部分介绍半导体晶片沾污类型、清洗技术的发展历程和演变，以及芯片制造过程中硅片表面微量化学沾污的产生过程；第二部分介绍各种湿法化学工艺技术的原理、工艺方法、工艺参数控制、清洗装置及应用实例；第三部分介绍各种干法清洗工艺技术的原理、工艺方法、工艺参数控制、清洗装置及应用实例；第四部分介绍清洗技术的分析和控制；第五部分介绍清洗技术未来的发展趋势。讲解过程中，本书既重视相关技术的背景知识介绍，又以丰富的图表和数据形式详细剖析了各种清洗技术的原理和应用条件，极大地方便了读者对各种清洗技术的了解和全面掌握。

光子晶体材料在集成光学和光伏中的应用

作者：  陆晓东

出版社：冶金工业出版社 2014-10-11

简介：本书包括光子晶体色散曲线的计算、光子晶体高阶带隙的性质、集成用光子晶体窄带滤波器研究、超薄晶硅太阳电池陷光结构设计等，书中各章的光子晶体色散曲线、瞬态光场分布、透射谱和反射谱数据，均为作者原创性成果。此外，为能比较全面的反映光子晶体研究的进展情况，本书对光子晶体材料研究的发展趋势、设计方法、加工技术等进行了详细阐述。

功率半导体器件及其仿真技术/陆晓东

作者：  陆晓东

出版社：冶金工业出版社 2021-06-04

简介： 全书共分为五个部分，即功率半导体器件的应用及发展水平、功率半导体器件的工作原理、功率半导体器件的加工工艺和功率半导体器件经验公式法设计、商用软件设计及热设计。本书可为从事功率器件的研究人员提供十分有价值的设计参考。