Micro-electro-mechanical system dynamics
作者： 孟光，张文明著
出版社：科学出版社,2008
简介： 本书着重介绍微机电系统动力学的相关理论基础与应用。全书共分为7
章，主要内容包括：微机电系统及微机电系统动力学科学问题的发展背景
、现状和未来的介绍；微驱动原理及尺度效应、微机电系统动力学相关理
论基础的概述；微机电系统宏建模与分析方法、多能量场耦合降阶建模与
模拟仿真技术的介绍；微机电系统中涉及的多种气体阻尼和热弹性阻尼特
性的分析与探讨；静电驱动微机电系统非线性动力学特性和微转子系统中
的摩擦磨损行为、气体轴承动力润滑特性和非线性振动特性等方面的论述
；微机电系统动态特性测试技术的介绍。
本书可供高等院校微电子、机电一体化等专业的师生阅读，也可供从
事微机电系统和微系统设计、加工制造及应用技术的科技人员参考。
