Microsystem Technology

作者：  (德)W. Menz等著;王春海，于杰等译

出版社：化学工业出版社,2003

简介：本书是德国WILEY-VCH出版社“ Microsystem Technolo-gy”一书的中译本，讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为10章，前4章介绍微系统技术的基础知识，如微系统与微结构间的相互关系、单晶硅的生产、微系统技术的物理和化学基础等；5－10章为本书核心，详细介绍微系统技术的基本工艺方法，包括光刻技术，硅技术、LIGA技术（X射线电镀成型）、封装技术等。本书可作为高校相关专业学生的等候课教材和课外读物，也适用于微系统技术的专业人员和对微系统技术感兴趣的人员阅读。