Properties of Strained and Relaxed Silicon Germanium
作者: (德)Erich Kasper主编;余金中译
出版社:国防工业出版社,2002
简介:
继si之后,sige/si是研究得最多、最深入的一类si基异质材料。应变的和弛豫的sige已经成为电子集成电路和光电子集成电路的非常重要的材料。
《硅锗的性质》由31位来自德国、美国、加拿大、英国、日本等国si基异质结构和应用领域的教授们撰稿,是一本论述sige/si知识的权威性专著。《硅锗的性质》共七章,第一章综述了sige应变层系统的一些总体性质;第二章至第六章给出了应变的和弛豫的sige合金的具体材料性质,论述了sige材料的结晶学、异质结构、热学性质、力学和晶格振动、能带结构、输运特性、磁学特性、表面性质、光吸收和光谱等方面的内容;第七章介绍了一些代表性的sige/si器件的结构和特性。
《硅锗的性质》是半导体领域的学者和工程技术人员的必读书,适于材料专业和半导体专业的科技人员、研究生、博士生阅读,还可供物理领域中的广大科技人员作为手册进行查阅。