著者还有：刘敏、余志明、王翔

第1章 材料表面技术与工程概论
1.1 材料表面技术与工程的概述
1.1.1 材料表面技术与工程实施的目的
1.1.2 材料表面技术与工程的分类和基础理论
1.2 材料表面技术与工程应用
1.2.1 航空航天工业中的应用
1.2.2 汽车工业中的应用
1.2.3 城市建设中的应用
1.2.4 家用电器工业中的应用
1.2.5 钢铁工业中大型部件的应用
1.2.6 电力、石化、机械工业中的大型部件上的应用
1.2.7 功能材料和元器件中的应用
1.2.8 电子技术中的应用
1.2.9 保护、优化环境中的应用
1.2.10 研究和制备先进新材料中的应用
1.3 材料表面技术与工程发展
1.3.1 材料表面技术与工程的概念
1.3.2 材料表面技术与工程的发展展望
参考文献
第2章 热喷涂涂层技术
2.1 概述
2.1.1 热喷涂涂层形成原理
2.1.2 热喷涂涂层的技术特点
2.1.3 热喷涂的技术分类
2.1.4 热喷涂涂层材料的特点和分类
2.1.5 热喷涂发展的历史概况
2.2 热喷涂技术的物理基础
2.2.1 热喷涂的热源特征
2.2.2 热喷涂涂层形成过程及其结构
2.2.3 热喷涂过程中粒子沉积的行为
2.2.4 金属粒子飞行过程中的氧化
2.2.5 热喷涂粒子的速度和温度
2.2.6 热喷涂涂层的残余应力
2.2.7 热喷涂涂层的结合机理
2.3 热喷涂的方法及装置
2.3.1 火焰喷涂
2.3.2 电弧喷涂
2.3.3 等离子喷涂
2.3.4 激光喷涂和喷焊
2.3.5 电热热源喷涂
2.4 热喷涂涂层的制备工艺
2.4.1 基体表面预处理
2.4.2 喷涂工艺
2.4.3 涂层精加工
2.5 微/纳米热喷涂涂层
2.5.1 微/纳米热喷涂简介
2.5.2 等离子喷涂的纳米结构涂层
2.5.3 超音速火焰喷涂的微/纳米结构涂层
2.5.4 电弧喷涂纳米结构涂层
2.5.5 微/纳米热喷涂技术的应用前景
2.6 热喷涂工艺技术的工业应用
2.6.1 热喷涂技术在航空航天工业中的应用
2.6.2 热喷涂技术在现代钢铁工业中的应用
2.6.3 热喷涂技术在能源工业中的应用
2.6.4 热喷涂技术在包装、印刷工业中的应用
2.6.5 热喷涂技术在造纸机械上的应用
2.6.6 热喷涂技术在纺织工业中的应用
2.6.7 热喷涂技术在汽车工业中的应用
2.6.8 热喷涂技术在化学工业中的应用
2.6.9 热喷涂在舰船空泡腐蚀防护上的应用
2.6.10 人工种植体生物功能中的应用
2.6.11 远红外辐射涂层的节能应用
2.6.12 热喷涂技术应用于喷涂成型
2.6.13 热喷涂用于模具的制造
2.6.14 大型钢结构件的长效防腐蚀
参考文献
第3章 材料现代表面改性技术
3.1 概述
3.2 等离子体的材料表面改性处理技术
3.2.1 等离子体的物理概念及其产生方法
3.2.2 等离子渗氮的原理
3.2.3 离子渗氮的优缺点和理论
3.2.4 等离子渗氮的设备和工艺
3.2.5 等离子渗氮的工程应用
3.2.6 等离子渗碳与碳氮共渗表面改性技术
3.2.7 等离子渗硫、等离子硫氮共渗、硫氮碳共渗
3.3 电子束与材料表面改性技术
3.3.1 电子束与材料表面改性特点
3.3.2 电子束与材料相互作用
3.3.3 电子束与材料表面改性装置
3.3.4 电子束与材料表面改性工艺
3.3.5 电子束与材料表面改性的应用
3.4 激光束与材料表面改性技术
3.4.1 激光束与材料表面改性的特点
3.4.2 激光束与材料的相互作用
3.4.3 激光束与材料表面改性设备
3.4.4 激光与材料表面改性工艺
3.4.5 激光束表面改性在工程材料中的应用
3.5 离子注入与材料表面改性技术
3.5.1 简介
3.5.2 离子注入的基本原理和优缺点
3.5.3 离子注入机
3.5.4 离子注入的改性机理
3.5.5 离子注入材料的工业应用
参考文献
第4章 薄膜化学气相沉积技术
4.1 概述
4.2 等离子体增强化学气相沉积技术
4.2.1 等离子体增强化学气相沉积技术中等离子体的性质和特点
4.2.2 射频等离子体化学气相沉积(RF-PCVD)技术
4.2.3 直流等离子体增强化学气相沉积技术
4.2.4 脉冲直流等离子体化学气相沉积技术
4.3 激光化学气相沉积(LCVD)技术
4.3.1 激光化学气相沉积设备
4.3.2 激光化学气相沉积工艺
4.3.3 应用
4.4 微波等离子体化学气相沉积技术
4.4.1 微波等离子体CVD装置
4.4.2 微波等离子体CVD沉积工艺与应用
4.5 金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术
4.5.1 金属有机化学气相沉积的原理
4.5.2 MO源
4.5.3 金属有机化学气相沉积设备与工艺
4.5.4 金属有机化学气相沉积技术的应用
4.6 分子束外延技术
4.6.1 分子束外延的特点
4.6.2 分子束外延的原理
4.6.3 分子束外延装置与分类
4.6.4 分子束外延的生长工艺
4.6.5 分子束外延的应用
4.7 化学气相沉积金刚石薄膜技术
4.7.1 金刚石薄膜的优异的性能
4.7.2 沉积制备金刚石膜的方法
4.7.3 化学气相沉积金刚石膜机理
4.7.4 金刚石薄膜制备与应用研究的主要进展
4.7.5 展望
参考文献
第5章 薄膜物理气相沉积技术
5.1 概述
5.2 真空蒸发镀膜技术
5.2.1 简介
5.2.2 真空蒸发镀膜原理
5.2.3 真空蒸发镀膜方式及设备和工艺
5.2.4 真空蒸发镀膜的应用
5.3 溅射镀膜技术
5.3.1 简介
5.3.2 溅射镀膜原理
5.3.3 溅射镀膜的方式
5.3.4 溅射镀膜装置和工艺
5.3.5 溅射镀膜的应用
5.4 离子镀膜技术
5.4.1 简介
5.4.2 离子镀膜的原理和特点
5.4.3 离子镀膜的工艺
5.4.4 活性反应离子镀
5.4.5 空心阴极离子镀
5.4.6 射频溅射离子镀
5.4.7 磁控溅射离子镀
5.4.8 真空电弧离子镀
5.4.9 热阴极强流电弧离子镀
参考文献
第6章 表面复合离子处理技术
6.1 概述
6.2 离子注入与镀膜的技术复合
6.2.1 离子束辅助沉积技术
6.2.2 离子团束沉积技术
6.3 激光与气相沉积、电子束与气相沉积技术复合
6.3.1 激光与气相沉积技术复合
6.3.2 电子束与气相沉积技术的复合
6.4 等离子喷涂与激光技术复合
6.4.1 用等离子喷涂与激光复合技术提高钢基材的性能
6.4.2 用等离子喷涂与激光复合涂层技术提高精锻机芯棒的高温、高速锻打的使用寿命
6.4.3 激光雕刻柔版印刷用高线数陶瓷涂层网纹辊
6.4.4 等离子喷涂与激光涂覆技术复合提高涂层的性能
6.4.5 等离子喷涂与离子注入技术复合提高材料表面硬度和摩擦性能
6.5 多种表面沉积技术制备多层复合膜层
6.5.1 用多种气相沉积技术制备发光器件的多功能复合膜层
6.5.2 用多种表面处理技术制备在临界压应力下不易塌陷的多层复合膜
6.6 磁控溅射与阴极多弧离子镀的技术复合
6.7 多层硬质复合膜与纳米多层膜技术
6.7.1 多层硬质复合膜与纳米多层膜沉积设备
6.7.2 多层硬质耐磨膜
6.7.3 纳米超硬多层膜
参考文献
第7章 材料表面微细加工技术
7.1 概述
7.2 表面微细加工技术简介
7.2.1 光刻加工
7.2.2 电子束微加工
7.2.3 离子束微加工
7.2.4 激光束微细加工
7.2.5 超声波加工
7.2.6 微细电火花加工
7.2.7 微细电解加工
7.2.8 微电铸
7.2.9 LIGA技术加工
7.2.10 准LIGA技术加工
7.3 微细加工技术是微电子技术发展的工艺基础
7.3.1 微电子微细加工技术
7.3.2 微细加工技术是微电子技术发展的工艺基础
7.4 微机电系统加工技术
7.4.1 微机电系统加工技术与特点
7.4.2 微机电系统加工的典型器件与系统
7.4.3 微机械与微机电系统常用材料
7.4.4 微机电系统加工的多样化与标准化
7.5 微机电系统研究开发概况与产业化前景
7.5.1 国外微机电系统研究开发概况及产业化前景
7.5.2 我国微机电系统技术研究开发概况和发展方向
参考文献