真空材料

1 真空材料概述
1.1 真空材料的分类
1.2 电真空材料的分类与特性
1.2.1 电真空材料的分类
1.2.2 电真空材料的特性
1.3 真空系统平衡方程
2 材料的气体渗透与扩散
2.1 气体分子的溶解与渗透
2.2 影响溶解度的因素
2.2.1 环境气压对溶解度的影响
2.2.2 温度对溶解度的影响
2.2.3 气体-固体配组的性质对溶解度的影响
2.3 不同材料中的气体溶解度
2.3.1 气体在金属中的溶解度
2.3.2 气体在非金属材料中的溶解度
2.4 气体扩散方程
2.5 气体渗透速率
2.5.1 气体对平板壁的渗透
2.5.2 气体对圆筒壁的渗透
2.5.3 气体对球形壁的渗透
2.5.4 不同气体-固体配组的渗透性能
3 材料的放气
3.1 常温放气
3.2 高温放气
3.2.1 高温放气概述
3.2.2 材料的高温放气机理
3.2.3 材料的高温放气参量
3.3 材料放气速率的计算
3.3.1 无限厚平板材料
3.3.2 有限厚平板材料
3.3.3 球形固体材料
3.3.4 圆柱形固体材料
3.3.5 结构及初始溶解浓度不均匀的固体材料
3.4 真空材料的放气率测试方法
3.4.1 流量率法(动态法)
3.4.2 压升率法(静态法)
3.4.3 收集法
3.4.4 质量损失或重量损失法
3.4.5 放气率的动态法测试装置
3.5 材料的真空除气
4 材料的蒸发、升华与凝结
4.1 蒸气
4.2 蒸气压
4.3 蒸发率和凝结率
4.4 材料蒸发对真空器件的影响
5 真空材料的其他性能与选材要求
5.1 真空材料的其他性能
5.2 真空材料的选材原则
5.2.1 对真空容器壳体及内部零件材料的要求
5.2.2 对密封材料的要求
6 金属材料
6.1 电真空及超高真空金属材料的工艺特点
6.1.1 粉末冶金法
6.1.2 金属热还原法
6.1.3 真空熔炼法
6.2 铸件
6.3 纯铁与钢
6.3.1 纯铁
6.3.2 碳素钢
6.3.3 不锈钢
6.3.4 不锈复合钢板
6.4 有色金属
6.4.1 镍(Ni)
6.4.2 铜(Cu)
6.4.3 铝(Al)
6.4.4 钛(Ti)
6.4.5 锆(Zr)
6.4.6 镉、锌(Cd、Zn)
6.4.7 铬(Cr)
6.5 贵重金属
6.5.1 铂(Pt)
6.5.2 钯(Pd)
6.5.3 金(Au)
6.5.4 银(Ag)
6.6 软金属
6.6.1 铟(In)
6.6.2 镓(Ga)
6.6.3 汞(Hg)
6.7 难熔金属
6.7.1 钨(W)
6.7.2 钼(Mo)
6.7.3 钽(Ta)
6.7.4 铌(Nb)
6.7.5 铼(Re)
6.8 合金
6.8.1 难熔金属合金
6.8.2 铁镍合金与可伐合金
6.8.3 镍铬合金与铁铬合金
6.8.4 铜合金
6.9 碱金属与碱土金属
6.9.1 碱金属
6.9.2 碱土金属和镁
7 磁性材料
7.1 磁性材料的性质与分类
7.2 软磁材料
7.2.1 软磁材料的特性
7.2.2 纯铁和铁合金
7.2.3 坡莫合金
7.2.4 软磁铁氧体
7.2.5 非晶态软磁材料
7.2.6 纳米微晶软磁材料
7.2.7 高分子有机磁性材料
7.3 硬磁材料
7.3.1 硬磁材料特性
7.3.2 磁钢与铁合金
7.3.3 纳米微晶稀土硬(永)磁材料
7.3.4 永(硬)磁材料的发展趋势
7.3.5 永磁(硬磁)材料磁性测量方法
7.4 钕铁硼永磁材料
7.4.1 钕铁硼合金的磁特性
7.4.2 烧结Nd-Fe-B永磁体的制造方法
7.4.3 粘结Nd-Fe-B永磁材料的制造
7.4.4 低温度系数和高矫顽力Nd-Fe-B永磁体
7.4.5 钕铁硼永磁体的热出气率
8 溅射镀膜靶材
8.1 靶材的种类
8.2 对靶材的技术要求
8.2.1 靶材的纯度
8.2.2 成分与结构均匀致密性
8.2.3 晶粒尺寸及结晶取向
8.2.4 靶材的几何形状与尺寸
8.2.5 靶材与阴极背板的连接
8.3 靶材的制备工艺
8.4 常用的溅射靶材
8.4.1 铬靶
8.4.2 ITO靶
8.4.3 金及金合金靶
8.4.4 磁性材料靶
8.4.5 铝合金溅射靶材
9 非金属材料
9.1 玻璃
9.1.1 真空工程所用玻璃的特点
9.1.2 玻璃的分类
9.1.3 玻璃的机械性能
9.1.4 玻璃的黏度、膨胀系数与热导率
9.1.5 电阻率与电击穿强度
9.1.6 玻璃的抗化学腐蚀性能
9.1.7 玻璃的渗透率与放气
9.2 陶瓷
9.2.1 陶瓷的性质
9.2.2 真空中常用的陶瓷
9.3 塑料
9.3.1 氟塑料(聚四氟乙烯)
9.3.2 聚乙烯和聚丙烯
9.3.3 尼龙
9.3.4 酚醛塑料
9.3.5 有机玻璃
9.4 石墨(碳)
9.4.1 概述
9.4.2 石墨的真空性能
9.4.3 石墨的电性能
9.4.4 石墨的物理化学性能
9.4.5 石墨的机械性能
9.4.6 石墨的加工工艺性
9.4.7 真空电阻炉的石墨构件
9.5 碳纤维与石墨纤维
9.5.1 碳纤维与石墨纤维的性质
9.5.2 石墨纤维制品的应用
9.5.3 石墨纤维-树脂复合材料(碳纤维增强塑料)
9.5.4 石墨纤维增强金属基复合材料
9.6 橡胶
9.6.1 天然橡胶
9.6.2 合成橡胶
9.6.3 真空密封橡胶的选择
9.7 环氧树脂
9.7.1 环氧树脂的特性
9.7.2 机械真空泵的环氧树脂修复
10 辅助密封材料
10.1 真空封蜡
10.2 真空封脂
10.3 真空封泥
10.4 真空漆
10.5 真空粘接剂
10.5.1 环氧树脂封胶
10.5.2 氯化银
10.5.3 厌氧胶
11 吸气剂与吸附剂
11.1 吸气剂
11.1.1 蒸散型吸气剂
11.1.2 非蒸散型吸气剂
11.2 吸附剂
11.2.1 分子筛
11.2.2 硅胶(SiO2)
12 真空工程用油
12.1 真空泵油
12.1.1 机械真空泵油
12.1.2 机械真空泵油的性能要求
12.1.3 机械真空泵油的过滤与更换
12.1.4 机械真空泵油的再生应用
12.2 扩散泵油
12.2.1 对扩散泵油的要求
12.2.2 扩散泵油分类及对极限压力的影响
12.2.3 扩散泵油的饱和蒸气压ps
12.3 扩散喷射泵油(增压泵油)
12.4 真空干燥用油
12.4.1 气相干燥用煤油
12.4.2 导热油
12.5 真空润滑用油
12.5.1 真空液体润滑的特点和方式
12.5.2 真空润滑用油
12.5.3 真空轴承的润滑技术
13 真空工程中的常用气体
13.1 惰性气体
13.1.1 氦(He)
13.1.2 氖(Ne)
13.1.3 氩(Ar)
13.1.4 氪、氙(Kr、Xe)
13.2 活性气体
13.2.1 氢气
13.2.2 氧气
13.2.3 氮气
13.2.4 二氧化碳
13.2.5 一氧化碳
13.3 气体的纯化与制取
13.3.1 气体的纯化
13.3.2 气体的制取
14 低温制冷系统工作介质
14.1 制冷剂
14.1.1 制冷剂的一般分类
14.1.2 对制冷剂的要求
14.1.3 常用的制冷剂
14.2 载冷剂
14.2.1 对载冷剂的要求
14.2.2 常用载冷剂
参考文献