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简介
《功能薄膜及其沉积制备技术》由戴达煌、代明江、侯惠君编著，本书以功能薄膜和现代表面沉积技术为重点，结合薄膜的特点与工程应用的发展实际，概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类及功能薄膜的选择设计原则和发展趋势；在薄膜沉积技术中，重点讲了化学和物理气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功能薄膜沉积制备的方法、原理、工艺特点及适用的技术领域；在装饰功能薄膜中，讲述了装饰膜的主要膜系，膜系设计的主要原则，重点列举了仿金与彩色、幕墙玻璃、塑料金属化、彩虹薄膜与镀铝纸等装饰薄膜的应用；在机械功能薄膜中，讲述了机械功能膜的主要膜系与设计膜系的基本原则，重点讲了氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、金属、金属合金及超硬膜的性能、特点及其在工业上的典型应用与发展等，全书内容新颖、系统齐全、涉及面广，有些内容和技术研究属于前沿资料，其中有部分是我们25年来的研究成果，并着力贯穿一些新的构思、新的材料和新器件所实现的工程应用，力求做到深入浅出，通俗易懂。
目录
1 绪论
2 功能薄膜的沉积制备方法
3 装饰功能薄膜
4 机械功能薄膜
5 物理功能薄膜
6 特殊功能薄膜
7 材料表面微细加工技术及其在微机电系统中的应用
参考文献
2 功能薄膜的沉积制备方法
3 装饰功能薄膜
4 机械功能薄膜
5 物理功能薄膜
6 特殊功能薄膜
7 材料表面微细加工技术及其在微机电系统中的应用
参考文献
Functional thin films and deposition technology
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