金刚石膜制备与物性研究及应用

1 绪论
1．1 金刚石的晶体结构
1．2 金刚石的性能及应用
1．2．1 力学性能及应用
1．2．2 热学性能及应用
1．2．3 学性能及应用
1．2．4 光学性能及应用
1．2．5 化学性能及应用
1．2．6 生物医学 域
1．3 金刚石的分类
1．4 化学气相沉积金刚石膜的研究进展及发展前景
参考文献

2 CVD金刚石的成膜机理及 备方法
2．1 CVD法生长金刚石膜的机理
2．2 CVD金刚石膜的 备方法简介
2．2．1 热丝CVD法
2．2．2 微波等离子体CVD法
2．2．3 等离子体喷*CVD法
2．2．4 子回旋共振CVD法
2．2．5 燃烧 焰辅助CVD法
参考文献

3 金刚石膜的 备设备 表征 段
3．1 直流热阴 PCVD实验装置及实验准备
3．1．1 直流热阴 PCVD实验装置
3．1．2 直流辉光 等离子体原理
3．1．3 实验准备及样品的 备
3．2 金刚石膜的形貌、结构 性能表征
3．2．1 扫描 子显微镜（SEM）
3．2．2 X*线衍*分析仪（XRD）
3．2．3 光拉曼光谱仪（Ra*n）
3．2．4 霍尔效应 试仪（Hall）
3．2．5 原子力显微镜
3．2．6 透* 子显微镜（TEM）
3．2．7 金相显微镜
参考文献

4 CH4/H2气氛下金刚石膜生长 性研究
4．1 压强对金刚石膜生长 性的影响
4．1．1 较高CH4浓度下压强对金刚石膜生长 性的影响
4．1．2 较低CH4浓度下压强对金刚石膜生长 性的影响
4．2 衬底温度对金刚石膜生长 性的影响
4．2．1 SEM分析
4．2．2 Ra*n分析
4．2．3 XRD分析
4．2．4 综合分析
4．3 CH4流量对金刚石膜生长 性的影响
4．3．1 SEM分析
4．3．2 Ra*n分析
4．3．3 XRD分析
4．3．4 综合分析
4．4 本章小结
参考文献

5 低温低压下纳米金刚石膜的 备及性能分析
5．1 样品的 备
5．2 结果与讨论
5．2．1 SEM分析
5．2．2 Ra*n分析
5．2．3 XRD分析
5．3 本章小结
参考文献

6 氮掺杂金刚石膜的 备与性能研究
6．1 金刚石膜的掺杂研究概述
6．2 氮源性质简介
6．3 C3H6N6流量对金刚石膜的生长 性影响研究
6．3．1 SEM分析
6．3．2 Ra*n分析
6．3．3 XRD分析
6．3．4 学性能分析
6．4 N2流量对金刚石膜生长 性影响研究
6．4．1 SEM分析
6．4．2 Ra*n分析
6．4．3 XRD分析
6．4．4 学性能分析
6．5 NH3对金刚石膜生长 性影响研究
6．5．1 SEM分析
6．5．2 Ra*n分析
6．5．3 XRD分析
6．5．4 学性能分析
6．6 Ar气浓度对氮掺杂金刚石膜的生长 性影响
6．6．1 SEM分析
6．6．2 Ra*n分析
6．6．3 XRD分析
6．6．4 不同Ar/H2流量 对纳米晶金刚石膜 学性能的影响
6．7 本章小结
参考文献

7 金刚石膜的高温氧化
7．1 金刚石氧化现象 机理
7．1．1 CVD金刚石膜的氧化现象
7．1．2 CVD金刚石膜的氧化机理
7．2 高温氧化对金刚石膜的性能的影响
7．3 影响金刚石膜氧化性能的因素
参考文献

8 金刚石膜压力传感器
8．1 金刚石传感器的相关技*
8．1．1 金刚石膜的图形化技*
8．1．2 金属化（金刚石传感器的欧姆接触）
8．2 压阻 金刚石膜压力传感器
8．2．1 压阻 传感器基本原理
8．2．2 压阻 金刚石压力传感器的 造
8．2．3 压阻 金刚石压力传感器研究现状及存在问题
参考文献

9 金刚石膜 的 化学应用
9．1 金刚石膜 优势
9．2 化学污*处理
9．3 离子*洗衣机
9．4 化学分析检
9．4．1 COD的检
9．4．2 医用 品的检
9．4．3 金属元素及其他无机物的检
9．4．4 生物传感器 域的应用
9．4．5 农 残留以及食品添加剂的检
参考文献