微机电技术

第1章  MEMs概述1.1  MEMS的概念1.2  MEMS研究现状1.3  MEMS的特点和存在的问题.参考文献第2章  MEMs材料2.1  硅及其化合物2.1.1  硅2.1.2  硅化合物2.2  陶瓷2.3  聚合物2.4  金属2.4.1  磁致伸缩金属2.4.2  形状记忆合金2.5  凝胶2.6  电流变体2.6.1  电流变体定义2.6.2  电流变体组成2.6.3  电流变体应用2.7  新兴材料2.7.1  石墨烯2.7.2  碳纳米管2.7.3  金刚石2.7.4  硅烯参考文献第3章  MEMs工艺3.1  传统超精密和特种微细加工技术3.1.1  传统超精密微加工技术3.1.2  特种微细加工技术3.2  硅微机械加工技术3.2.1  MEMS常用IC工艺3.2.2  表面微加工技术3.2.3  体微加工技术3.3  键合技术3.4  LIGA技术3.4.1  标准LIGA技术3.4.2  准LIGA技术3.4.3  其他相关LIGA技术参考文献第4章  MEMs典型器件4.1  微传感器与微执行器4.1.1  MEMS微传感器4.1.2  微执行器4.2  微加速度计4.2.1  线微加速度计4.2.2  差动电容微加速度计4.2.3  跷跷板式微加速度计4.2.4  三明治式微加速度计4.2.5  梳齿式微加速度计4.2.6  MEMS微加速度计研究方向4.3  微陀螺仪4.3.1  陀螺仪原理4.3.2  MEMS陀螺仪4.3.3  进一步提高MEMS陀螺仪的性能4.4  微谐振器4.4.1  梳状谐振器4.4.2  梁式谐振器4.4.3  盘式谐振器4.4.4  薄膜体声波谐振器4.4.5  腔结构微机械谐振器4.4.6  声表面波谐振器4.4.7  谐振器性能比较4.5  数字微镜4.5.1  DMD原理4.5.2  数字微镜的应用参考文献第5章  MEMS应用5.1  MEMS技术在汽车工业中的应用5.1.1  汽车安全系统5.1.2  监测轮胎气压系统5.2  MEMS技术在军事领域的应用5.2.1  微飞行器5.2.2  微惯性导航系统5.2.3  纳米武器5.3  MEMS技术在医学中的应用5.3.1  微创内窥镜系统5.3.2  特定部位药物释放药丸5.3.3  消化道采样及参数监测系统5.3.4  精微外科和软组织外科手术5.4  MEMS在光通信中的应用5.4.1  全光通信5.4.2  光开关5.5  MEMS技术在航空航天中的应用5.5.1  微纳卫星5.5.2  太空望远镜调整系统5.6  MEMS技术在手机中的应用5.6.1  手机加速度计5.6.2  MEMS麦克风5.6.3  远程信息处理5.6.4  多频段手机5.6.5  微型投影技术5.6.6手机陀螺仪5.6.7  MEMS在手机中的前景5.7   MEMS技术在家用电器中的应用5.8  生物芯片5.8.1  微阵列生物芯片5.8.2  微流体生物芯片5.8.3  流体技术5.8.4  检测技术及装置5.8.5  DNA测序与药品研制5.9  MEMS技术在物联网中的应用参考文献第6章  RF MEMS及重构天线6.1  RF MEMS6.2  RF MEMS的应用6.2.1  MEMS移相器6.2.2  MEMS滤波器6.2.3  其他RF MEMS应用6.3  RF开关6.3.1  RF MEMS开关分类-6.3.2  悬臂梁结构电阻接触式RF开关.6.3.3  电容耦合式RF开关6.4  重构天线的概念6.5  重构天线研究现状6.6  重构天线分类6.6.1  改变天线单元结构6.6.2  控制馈电网络6.7  频率重构6.8  方向图重构6.9  频率和方向图同时重构-6.10  极化可重构微带天线参考文献第7章  MEMs力学问题7.1  梁的力学问题7.1.1  应变和应力7.1.2  梁的弯曲变形7.2  膜的力学问题7.2.1  薄膜弯曲7.2.2  周边固支圆形薄膜弯曲-7.2.3  周边固支矩形薄膜弯曲7.3  静电力7.3.1  分离变量法级数解7.3.2  保角变换近似解7.3.3  考虑极板厚度时的边缘效应7.3.4  非平行极板电容静电力7.4  范德瓦耳斯力7.4.1  偶极子电场7.4.2  离子与偶极间作用力7.4.3  偶极相互作用7.4.4  角平均的偶极相互作用7.4.5  偶极一诱导作用7.4.6  伦敦(London)一范德瓦耳斯力7.4.7  范德瓦耳斯力7.4.8  物体间的范德瓦耳斯力7.5  MEMS阻尼7.5.1  气体阻尼7.5.2  稀薄气体阻尼7.6  Casimir力7.6.1  Casimir力的背景7.6.2  Casimir力7.6.3  金属板间CasimiI力7.6.4  Casimir力对MEMS的影响参考文献