气敏传感器的制备与应用

第1章  纳米薄膜气敏技术发展与展望1.1  纳米薄膜气敏技术发展与展望1.1.1  国外气敏技术发展现状和前景1.1.2  国内气敏技术研究现状与差距1.1.3  国内市场需求与展望1.2  按材料分类的纳米薄膜气敏传感器1.2.1  SnO2纳米薄膜气敏特性及其研究进展1.2.2  ZnO薄膜气敏特性及其研究进展1.2.3  TiO2薄膜气敏特性及其研究进展1.3  气敏传感器中的非线性信号处理第2章  薄膜制备技术2.1  溶胶-凝胶（sol-gel）法2.1.1  制备基本原理和过程2.1.2  溶胶-凝胶制备纳米晶TiO2薄膜实验2.2  气敏传感纳米薄膜制备溅射技术2.2.1  溅射过程介绍2.2.2  磁控溅射设备及制备气敏薄膜实验过程2.2.3  溅射法制备薄膜的实际应用2.3  溅射过程中薄膜的形成及其气敏机理2.3.1  溅射过程中薄膜的形成2.3.2  溅射膜的气敏机理2.4  太阳能电池的ZnO透明导电膜陷光电极的制备2.4.1  陷光电极的要求2.4.2  陷光电极的制备方法2.4.3  MOCVD-ZnO薄膜生长机理2.4.4  MOCVD-ZnO薄膜生长影响因素第3章  检测技术3.1  气敏特性测试3.2  X射线技术在传感器纳米薄膜晶体结构及晶粒尺寸分析中的应用3.3  扫描电子显微镜分析3.3.1  样品表面上产生的效应3.3.2  探测器3.3.3  操作模式3.3.4  成像衬度机制3.3.5  实际应用3.4  利用原子力显微镜观测薄膜的平整度3.4.1  原子力显微镜的功能和特点3.4.2  工作原理和系统组成3.4.3  主要工作模式3.4.4  典型产品3.4.5  测试实例3.5  利用椭圆偏振光测定介电薄膜的厚度第4章  掺杂理论与元件的功率计算4.1  金属氧化物掺杂对TiO2气敏特性的影响4.1.1  掺杂金属氧化物作用机理4.1.2  对TiO2的不同掺杂4.1.3  其他掺杂4.2  氧化物导电薄膜的*佳掺杂含量理论计算4.2.1  模型4.2.2  理论4.3  二氧化锡薄膜的*佳掺杂含量理论表达式4.3.1  模型4.3.2  理论4.3.3  结果讨论4.4  气敏传感器元件的功率计算第5章  气敏传感器信号的处理与融合5.1  气敏传感器中的非线性信号及其反演5.1.1  气敏传感器的灵敏度非线性信号5.1.2  非线性信号的反演5.2  经典非线性信号（函数）拟合法5.2.1  *小二乘法5.2.2  牛顿插值法5.3  近代非线性信号（函数）拟合法5.3.1  MATLAB算法5.3.2  模拟退火算法5.3.3  遗传算法5.3.4  非线性函数规范化多项式拟合法5.3.5  非线性函数反演“归十”拟合法5.3.6  神经网络拟合法5.3.7  无学习率权值调整神经计算法拟合范德堡函数多项式5.3.8  样本数大于权值数时误差迭代下降的神经网络拟合算法5.3.9  模糊拟合算法5.3.10  蚁群优化算法5.4  传感器非线性信号的补偿与融合5.4.1  非线性信号补偿5.4.2  非线性信号信息融合5.4.3  非线性信号补偿应用5.4.4  非线性反函数补偿方法第6章  实际应用6.1  矿井瓦斯检测6.1.1  气敏组件的制作6.1.2  传感器电路部分设计6.2  一种智能气敏传感器及其无线数据传输系统6.2.1  系统总体设计方案6.2.2  测量系统原理与组成6.2.3  无线数据收发模块的实现6.3  油库漏气的检测6.3.1  气敏元件的制作6.3.2  传感器电路部分设计6.4  基于无线传输的多探头湿度控制仪6.4.1  系统设计方案6.4.2  发射电路6.4.3  接收电路6.5  车辆驾驶人员呼气酒精含量检测6.5.1  酒后驾驶检测的现状6.5.2  呼气酒精检测的技术6.5.3  酒精气敏传感器与气敏特性测试6.5.4  乙醇气敏薄膜气敏机理研究参考文献