简介
本书共分11章,分别介绍了各类半导体材料的基本性质和制备技术。按电子、光电子、敏感、热电及红外光学等几大领域介绍了各种半导体材料与特定应用相关的性能及其应用技术。书中附有多幅图、表以帮助读者更好地理解相关内容。
本书内容先进,全面,行文通顺、语言简练,可供从事半导体材料开发研究、生产、应用的技术人员作为参考用书。
目录
1 导论1
11 基本概念1
12 发展简史2
13 半导体材料的分类3
14 半导体材料的基本性质4
141 半导体的晶体结构4
142 半导体的化学键5
143 半导体的能带6
144 半导体的电导7
145 半导体的霍尔效应7
146 半导体的光学性质9
15 半导体中的杂质和缺陷10
151 杂质10
152 缺陷10
153 半导体缺陷工程10
16 半导体材料的性能检测11
17 材料的应用发展趋势13
参考文献16
2 元素半导体材料19
. 21 硅19
211 si的化学性质19
212 晶体结构和能带20
213 电学性质21
214 光学性质23
215 si中的杂质23
216 si中的缺陷27
217 si的力学和热学性质28
22 锗30
221 化学性质30
222 物理性质31
23 金刚石32
24 硒和碲34
241 硒34
242 碲35
25 磷、硼和灰锡36
251 磷36
252 硼37
253 灰锡38
参考文献39
3 化合物半导体材料41
31 iii-v族半导体材料41
311 概述41
312 一般性质41
313 晶体结构、化学键和极性45
314 主要的iii-v族化合物半导体47
32 ii-vi族化合物半导体材料65
321 概述65
322 光学性质70
323 自补偿72
324 应用概述73
33 碳化硅74
331 sic的化学性质74
332 sic的物理性质74
34 iv-vi族化合物半导体材料77
341 基本性质77
342 应用简介82
35 其他二元化合物半导体材料84
351 iii-vi族化合物84
352 v-vi族化合物85
353 i-vii族化合物87
354 氧化物半导体87
36 三元化合物半导体材料88
参考文献93
4 固溶体半导体材料95
41 固溶体的基本性质95
42 si1-玿玤e玿固溶体96
421 晶格常数和失配率96
422 电学性质97
423 其他性质98
43 iii-v族固溶体半导体101
431 三元固溶体101
432 四元固溶体107
44 ii-vi族及其他固溶体半导体113
441 hgcdte的基本性质113
442 其他ii-vi族固溶体116
443 ii-vi/iii-v族固溶体117
444 iv-vi族(铅盐)固溶体118
45 稀磁半导体119
451 晶格常数和带隙121
452 其他基本性质123
453 应用概述124
参考文献125
5 非晶、有机和微结构半导体材料128
51 非晶半导体材料128
511 引言128
512 基本性质129
513 应用136
514 微晶半导体138
52 有机半导体材料138
521 有机半导体材料及其基本性质138
522 应用146
53 半导体微结构(超晶格、量子结构)材料150
531 半导体超晶格150
532 量子结构材料157
533 半导体微结构材料的主要性能及应用158
54 多孔硅和纳米硅161
541 多孔硅和纳米硅的基本性质162
542 多孔硅和纳米硅的应用前景163
参考文献164
6 半导体器件基础166
61 pn结166
62 金属-半导体接触169
63 晶体三极管171
631 结型晶体管171
632 异质结双极晶体管(hbt) 171
633 场效应晶体管(fet) 172
634 mosfet173
635 hemt174
64 可控硅(scr) 175
65 半导体发光与激光176
651 pn结注入式发光176
652 半导体激光器177
66 集成电路178
参考文献180
7 半导体电子材料181
71 材料的器件适性优值181
711 约翰逊优值181
712 凯斯优值182
713 巴利加优值183
714 高频器件用材料优值184
715 热性能优值185
72 硅187
721 为什么要用硅187
722 集成电路(ic)对si材料的基本要求189
723 关于硅片大直径化192
724 硅单晶在电力电子技术中的应用192
725 多晶硅薄膜和非晶硅薄膜194
73 硅基材料195
731 sige/si(固溶体)材料195
732 绝缘体上的硅(soi)材料198
733 gaas/si异质外延材料201
74 化合物半导体材料202
741 gaas202
742 inp205
743 sic207
744 gan208
75 金刚石210
参考文献211
8 半导体光电子材料215
81 半导体激光材料215
811 iii-v族ld材料215
812 ii-vi族半导体ld材料221
813 iv-vi族半导体ld材料222
814 半导体ld材料市场概况223
82 半导体显示材料224
821 led材料224
822 半导体电致发光材料226
823 阴极射线发光材料227
83 太阳电池材料228
831 发展历程概述228
832 太阳电池材料作为清洁能源材料的重要性229
833 太阳电池材料230
834 发展趋势和展望234
84 其他半导体光电子材料235
841 电光材料235
842 光子牵引材料236
843 负电子亲和势光电阴极材料236
844 光波导材料238
85 光电集成电路材料239
参考文献239
9 半导体敏感材料242
91 力敏材料242
911 压阻效应力敏材料242
912 压电效应力敏材料244
92 光敏材料245
921 可见光波段光敏材料245
922 红外波段光敏材料246
923 短波长(紫外)光敏材料251
924 光电二极管材料252
925 光电导膜材料254
93 磁敏材料254
931 霍尔器件材料254
932 磁阻器件材料256
933 磁敏二极管和磁敏三极管材料257
94 热敏材料258
941 半导体陶瓷热敏电阻材料258
942 硅温敏电阻258
943 温敏二极管259
95 气敏材料260
951 金属氧化物半导体气敏材料260
952 mos型气敏元件材料262
96 射线敏材料263
97 其他半导体敏感材料265
参考文献266
10 其他半导体材料268
101 半导体热电材料及其应用268
1011 热电效应简述268
1012 半导体热电材料269
1013 关于更大优值热电材料的研究276
1014 热电材料应用281
102 半导体红外光学材料及其应用281
1021 基本性质282
1022 重要半导体红外光材料287
1023 应用概述298
103 半导体陶瓷材料及其应用300
1031 ptc半导瓷材料300
1032 ntc半导瓷材料302
1033 临界温度热敏电阻(器)材料302
1034 线性热敏半导瓷材料303
1035 (电)压敏半导瓷材料303
1036 晶界层电容器半导瓷材料305
参考文献305
11 半导体材料制备308
111 体单晶生长308
1111 熔体生长基本原理简述308
1112 直拉法311
1113 直拉生长技术的几项改进313
1114 悬浮区熔技术317
1115 垂直梯度凝固和垂直布里奇曼技术319
1116 水平布里奇曼技术320
1117 化合物半导体单晶熔体生长技术的比较321
1118 关于化合物半导体单晶中的位错321
1119 气相输运生长技术323
112 片状晶生长323
1121 d-web技术324
1122 sr技术324
1123 efg技术325
113 晶片加工325
1131 切片325
1132 倒角326
1133 磨片326
1134 腐蚀326
1135 抛光327
1136 清洗327
1137 晶片的几何参数和参考面328
114 外延生长329
1141 lpe技术330
1142 vpe技术332
1143 mbe技术338
1144 化学束外延技术342
1145 其他外延技术342
115 非晶半导体薄膜制备343
1151 制备方法概述343
1152 非晶硅薄膜制备344
参考文献347
11 基本概念1
12 发展简史2
13 半导体材料的分类3
14 半导体材料的基本性质4
141 半导体的晶体结构4
142 半导体的化学键5
143 半导体的能带6
144 半导体的电导7
145 半导体的霍尔效应7
146 半导体的光学性质9
15 半导体中的杂质和缺陷10
151 杂质10
152 缺陷10
153 半导体缺陷工程10
16 半导体材料的性能检测11
17 材料的应用发展趋势13
参考文献16
2 元素半导体材料19
. 21 硅19
211 si的化学性质19
212 晶体结构和能带20
213 电学性质21
214 光学性质23
215 si中的杂质23
216 si中的缺陷27
217 si的力学和热学性质28
22 锗30
221 化学性质30
222 物理性质31
23 金刚石32
24 硒和碲34
241 硒34
242 碲35
25 磷、硼和灰锡36
251 磷36
252 硼37
253 灰锡38
参考文献39
3 化合物半导体材料41
31 iii-v族半导体材料41
311 概述41
312 一般性质41
313 晶体结构、化学键和极性45
314 主要的iii-v族化合物半导体47
32 ii-vi族化合物半导体材料65
321 概述65
322 光学性质70
323 自补偿72
324 应用概述73
33 碳化硅74
331 sic的化学性质74
332 sic的物理性质74
34 iv-vi族化合物半导体材料77
341 基本性质77
342 应用简介82
35 其他二元化合物半导体材料84
351 iii-vi族化合物84
352 v-vi族化合物85
353 i-vii族化合物87
354 氧化物半导体87
36 三元化合物半导体材料88
参考文献93
4 固溶体半导体材料95
41 固溶体的基本性质95
42 si1-玿玤e玿固溶体96
421 晶格常数和失配率96
422 电学性质97
423 其他性质98
43 iii-v族固溶体半导体101
431 三元固溶体101
432 四元固溶体107
44 ii-vi族及其他固溶体半导体113
441 hgcdte的基本性质113
442 其他ii-vi族固溶体116
443 ii-vi/iii-v族固溶体117
444 iv-vi族(铅盐)固溶体118
45 稀磁半导体119
451 晶格常数和带隙121
452 其他基本性质123
453 应用概述124
参考文献125
5 非晶、有机和微结构半导体材料128
51 非晶半导体材料128
511 引言128
512 基本性质129
513 应用136
514 微晶半导体138
52 有机半导体材料138
521 有机半导体材料及其基本性质138
522 应用146
53 半导体微结构(超晶格、量子结构)材料150
531 半导体超晶格150
532 量子结构材料157
533 半导体微结构材料的主要性能及应用158
54 多孔硅和纳米硅161
541 多孔硅和纳米硅的基本性质162
542 多孔硅和纳米硅的应用前景163
参考文献164
6 半导体器件基础166
61 pn结166
62 金属-半导体接触169
63 晶体三极管171
631 结型晶体管171
632 异质结双极晶体管(hbt) 171
633 场效应晶体管(fet) 172
634 mosfet173
635 hemt174
64 可控硅(scr) 175
65 半导体发光与激光176
651 pn结注入式发光176
652 半导体激光器177
66 集成电路178
参考文献180
7 半导体电子材料181
71 材料的器件适性优值181
711 约翰逊优值181
712 凯斯优值182
713 巴利加优值183
714 高频器件用材料优值184
715 热性能优值185
72 硅187
721 为什么要用硅187
722 集成电路(ic)对si材料的基本要求189
723 关于硅片大直径化192
724 硅单晶在电力电子技术中的应用192
725 多晶硅薄膜和非晶硅薄膜194
73 硅基材料195
731 sige/si(固溶体)材料195
732 绝缘体上的硅(soi)材料198
733 gaas/si异质外延材料201
74 化合物半导体材料202
741 gaas202
742 inp205
743 sic207
744 gan208
75 金刚石210
参考文献211
8 半导体光电子材料215
81 半导体激光材料215
811 iii-v族ld材料215
812 ii-vi族半导体ld材料221
813 iv-vi族半导体ld材料222
814 半导体ld材料市场概况223
82 半导体显示材料224
821 led材料224
822 半导体电致发光材料226
823 阴极射线发光材料227
83 太阳电池材料228
831 发展历程概述228
832 太阳电池材料作为清洁能源材料的重要性229
833 太阳电池材料230
834 发展趋势和展望234
84 其他半导体光电子材料235
841 电光材料235
842 光子牵引材料236
843 负电子亲和势光电阴极材料236
844 光波导材料238
85 光电集成电路材料239
参考文献239
9 半导体敏感材料242
91 力敏材料242
911 压阻效应力敏材料242
912 压电效应力敏材料244
92 光敏材料245
921 可见光波段光敏材料245
922 红外波段光敏材料246
923 短波长(紫外)光敏材料251
924 光电二极管材料252
925 光电导膜材料254
93 磁敏材料254
931 霍尔器件材料254
932 磁阻器件材料256
933 磁敏二极管和磁敏三极管材料257
94 热敏材料258
941 半导体陶瓷热敏电阻材料258
942 硅温敏电阻258
943 温敏二极管259
95 气敏材料260
951 金属氧化物半导体气敏材料260
952 mos型气敏元件材料262
96 射线敏材料263
97 其他半导体敏感材料265
参考文献266
10 其他半导体材料268
101 半导体热电材料及其应用268
1011 热电效应简述268
1012 半导体热电材料269
1013 关于更大优值热电材料的研究276
1014 热电材料应用281
102 半导体红外光学材料及其应用281
1021 基本性质282
1022 重要半导体红外光材料287
1023 应用概述298
103 半导体陶瓷材料及其应用300
1031 ptc半导瓷材料300
1032 ntc半导瓷材料302
1033 临界温度热敏电阻(器)材料302
1034 线性热敏半导瓷材料303
1035 (电)压敏半导瓷材料303
1036 晶界层电容器半导瓷材料305
参考文献305
11 半导体材料制备308
111 体单晶生长308
1111 熔体生长基本原理简述308
1112 直拉法311
1113 直拉生长技术的几项改进313
1114 悬浮区熔技术317
1115 垂直梯度凝固和垂直布里奇曼技术319
1116 水平布里奇曼技术320
1117 化合物半导体单晶熔体生长技术的比较321
1118 关于化合物半导体单晶中的位错321
1119 气相输运生长技术323
112 片状晶生长323
1121 d-web技术324
1122 sr技术324
1123 efg技术325
113 晶片加工325
1131 切片325
1132 倒角326
1133 磨片326
1134 腐蚀326
1135 抛光327
1136 清洗327
1137 晶片的几何参数和参考面328
114 外延生长329
1141 lpe技术330
1142 vpe技术332
1143 mbe技术338
1144 化学束外延技术342
1145 其他外延技术342
115 非晶半导体薄膜制备343
1151 制备方法概述343
1152 非晶硅薄膜制备344
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半导体材料
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