简介
本书系统介绍了高纯水技术的物理化学基础,制备方法及分析检测手段。
目录
第一章 高纯水与半导体工艺
1-1 水中的杂质
1-2 高纯水中的杂质对半导体工艺的影响
1-3 高纯水中的杂质对半导体材料和器件性能的影响
第二章 高纯水制备中的预处理
2-1 微粒沉降理论
2-2 凝聚、助凝与澄清
2-3 过滤及深层过滤
2-4 吸附
2-5 反渗透前的预处理
2-6 脱气
第三章 反渗透和电渗析脱盐
3-1 反渗透
3-2 电渗析
4-1 离子交换树脂的结构
第四章 离子交换树脂的脱盐
4-2 离子交换树脂的分类
4-3 离子交换树脂的基本交换特性
4-4 离子交换树脂的反应速率
4-5 离子交换法纯化水
第五章 离子交换树脂的再生
5-1 离子交换树脂和再生剂的选择
5-2 离子交换树脂的失效与再生
5-3 混床离子交换树脂的再生
5-4 离子交换树脂的中毒污染及其复苏
5-5 离子交换树脂的再生装置和工艺流程
第六章 精处理
6-1 紫外灯杀菌
6-2 超过滤
6-3 微孔精过滤
6-4 纯水制备工艺中材质的污染及选择
6-5 纯水制造的工艺流程
第七章 高纯水的分析
7-1 水质分析的意义
7-2 分析方法的选择和评价
7-3 分析数据的处理和评价
7-4 硅的测定
7-5 氯离子的测定
7-6 Cl-,F-,NO?,SO?及HPO？等阴离子的测定
7-7 金属元素的测定
7-8 有机物的测定
7-9 颗粒的测定
7-10 细菌的测定
7-11 高纯水电阻率的测定
7-12 水样的采集和储存
8-1 原水分析
第八章 原水、离子交换树脂和脱盐率的分析
8-2 离子交换树脂的分析
8-3 除盐工序(或设备)脱盐率的分析
第九章 水站的质量管理
9-1 水站质量管理基础
9-2 纯水制造的水质监控
9-3 水站的数据及其处理
第十章 质量管理工具在水站的应用
10-1 直方图
10-2 控制力
10-3 排列图
10-4 因果图
10-5 关联图
10-6 系统图
附录
参考文献
价值工程概论
- 名称
- 类型
- 大小
光盘服务联系方式: 020-38250260 客服QQ：4006604884
云图客服：
用户发送的提问，这种方式就需要有位在线客服来回答用户的问题，这种 就属于对话式的,问题是这种提问是否需要用户登录才能提问
Video Player
×
Audio Player
×
pdf Player
×
