简介
目录
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1绪论……001
1.1 莫尔条纹原理及应用……001
1.2 莫尔条纹细分意义……003
1.3 光栅纳米测量的研究现状及发展趋势……004
2莫尔条纹细分技术……008
2.1 莫尔条纹细分基本原理……008
2.2 传统的低倍莫尔条纹细分方法……009
2.3 现有的高倍莫尔条纹细分方法……011
2.4 莫尔条纹细分技术发展趋势……016
2.5 本书的研究工作……016
3莫尔条纹特性分析……018
3.1 光栅传感器特性分析……018
3.2 莫尔条纹空间特性分析……019
3.3 莫尔条纹时间特性分析……024
4基于时间信号的莫尔条纹小波细分法……026
4.1 光栅传感器输出信号采集与处理……026
4.2 小波细分法……032
4.3 仿真与实验……039
5基于空间信号的莫尔条纹校正傅里叶细分法……045
5.1 莫尔条纹空间信号采集与分析……045
5.2 基于傅里叶变换的细分原理……048
5.3 基于CCD采集的空间信号的校正傅里叶细分法……050
5.4 基于CMOS采集的空间信号的校正多相位傅里叶细分法……059
6光栅栅距动态测量……070
6.1 光栅栅距误差分析……070
6.2 现有的栅距测量方法……072
6.3 光栅栅距动态测量方法……072
6.4 累积误差和细分误差修正……083
6.5 动态栅距测量在实际应用中的意义……085
7新型光栅纳米测量装置……086
7.1 两种细分方法适用的场合……086
7.2 关键问题的进一步解决方案……087
7.3 新型光栅纳米测量装置构建……088
参考文献……090光盘服务联系方式: 020-38250260 客服QQ：4006604884
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