新型传感技术及应用

　　前言
　　第一版 前言
　　1 传感器与敏感材料
　　 1.1 概述
　　 1.2 硅材料
　　 1.3 化合物半导体材料
　　 1.4 压电材料
　　 1.5 磁致伸缩材料
　　 1.6 形状记忆合金
　　 1.7 熔凝石英
　　 1.8 光导纤维
　　 1.9 弹性合金
　　 1.10 纳米材料
　　 思考题与习题
　　2 传感器的制造和封装技术
　　 2.1 概述
　　 2.2 硅微加工技术
　　 2.3 LIGA技术和Sl，IGA技术
　　 2.4 特种精密加工技术
　　 2.5 封装技术
　　 思考题与习题
　　3 传感器建模的力学基础
　　 3.1 概述
　　 3.2 弹性体的应力
　　 3.3 弹性体的应变
　　 3.4 弹性体的物理方程
　　 3.5 弹性体的能量方程
　　 思考题与习题
　　4 传感器的建模
　　 4.1 弹性圆柱体(杆)的建模
　　 4.2 梁的建模
　　 4.3 圆平膜片的建模
　　 4.4 矩形(方形)平膜片的建模
　　 4.5 波纹膜片的建模
　　 4.6 E形圆膜片的建模
　　 4.7 带有顶盖的圆柱壳的建模
　　 4.8 顶端开口圆柱壳的建模
　　 4.9 半球壳的建模
　　 思考题与习题
　　5 硅电容式集成传感器
　　 5.1 概述
　　 5.2 硅电容式集成压力传感器
　　 5.3 硅电容式集成压力传感器的接口电路
　　 5.4 硅电容式加速度传感器
　　 5.5 硅电容式角速度传感器
　　 思考题与习题
　　6 谐振式传感器
　　 6.1 概述
　　 6.2 谐振式传感器的基础理论
　　 6.3 谐振弦式压力传感器
　　 6.4 谐振膜式压力传感器
　　 6.5 谐振筒压力传感器
　　 6.6 谐振式角速率传感器
　　 6.7 谐振式直接质量流量传感器
　　 6.8 硅微结构谐振式传感器
　　 6.9 硅微结构谐振式传感器开环特性测试仪
　　 思考题与习题
　　7 声表面波传感器
　　 7.1 概述
　　 7.2 表面波的基本理论
　　 7.3 声表面波叉指换能器
　　 7.4 声表面波谐振器
　　 7.5 SAW加速度传感器
　　 7.6 SAW压力传感器
　　 7.7 SAW气体传感器
　　 7.8 SAw流量传感器
　　 思考题与习题
　　8 薄膜传感器
　　 8.1 概述
　　 8.2 几种薄膜传感器
　　 思考题与习题
　　9 磁传感器
　　 9.1 概述
　　 9.2 磁传感器的工作原理
　　 9.3 霍尔元件与霍尔传感器
　　 9.4 磁阻元件和传感器
　　 9.5 硅谐振式磁传感器简介
　　 思考题与习题
　　参考文献